Kompatibel mit REF Interfaces
Für eine noch bessere Leistungsfähigkeit und langfristige Zuverlässigkeit werden die Baureihen RGB und RGF durch RoHS konforme REF Interfaces ersetzt. Dies ermöglicht eine dynamische Signalverarbeitung und Auflösungen bis 5 nm.
Der RGH25F UHV Abtastkopf wird unter reinen Bedingungen gefertigt, mit Materialien und Klebstoffen, die speziell aufgrund ihrer geringen Ausgasungswerte gewählt wurden. Anschließend wird das Produkt zur Beibehaltung der Reinheit in einer vakuumgerechten Verpackung verschlossen.
Vakuumtaugliches Maßband
Das RGS20-S Maßband bietet einen extrem wiederholgenauen Messstandard, der an den meisten Konstruktionswerkstoffen, die in der Halbleiter- und wissenschaftlichen Industrie verwendet werden, einschließlich Invar®, Zerodur®, Edelstahl und Aluminium, angebracht werden kann. Wenn die Maßbandenden unter Anwendung des empfohlenen Epoxidklebers fest mit dem Substrat verbunden sind, dann passt sich das Maßband dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Substrats an und verhält sich, als sei das eigentliche Substrat mit einer Teilungsperiode versehen.
Testergebnisse der Restgasanalyse (RGA)
Unabhängige Restgasanalysen (RGAs) haben erwiesen, dass sich das gesamte System zur Verwendung in reinen Vakuumbedingungen eignet. Ebenso eignet es sich für Ausbackzyklen von 120°C für Einsätze in UHV-Umgebungen. Typische Anwendungen sind z. B. Waferhandling, Waferinspektion und die wissenschaftliche Forschung.
Ergebnisse des RGA-Spektrums für RGH20F Abtastköpfe
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Ergebnisse des RGA-Spektrums für lineares RGS Goldmaßband
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Invar® ist ein eingetragenes Warenzeichen von Arcelor Mittal
Zerodur® ist ein eingetragenes Warenzeichen von Schott AG
Der RGH25F UHV Abtastkopf für Wegmess-Systeme ist mit dem RGS20-S Maßband von Renishaw kompatibel und bietet ein hochgenaues und direktes Positionsfeedback in UHV-Umgebungen. Der RGH25F UHV hat sich seit Jahren in der Praxis bewährt und wird weltweit in Halbleiter- und wissenschaftlichen Geräten, wo hohe Leistungen und Zuverlässigkeit unerlässlich sind, eingesetzt..jpg)
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