TONiC™ UHV vakuumtaugliches, lineares Wegmess-System

Der TONiC UHV Abtastkopf für Wegmess-Systeme ist mit Renishaws hochgenauen Maßbändern mit optischen IN-TRAC™ Referenzmarken, einschließlich der RELM Invar® und RSLM Edelstahlmaßstäben, kompatibel. Diese Mess-Systeme bieten ein hochgenaues Positionsfeedback in UHV-Umgebungen. Der TONiC UHV Abtastkopf für Wegmess-Systeme ist ab dem zweiten Quartal 2010 erhältlich und wurde speziell für Halbleiter- und wissenschaftliche Anwendungen, bei denen hohe Leistungen und Zuverlässigkeit unerlässlich sind, konzipiert.

Leistungsstarker TONiC Inkremental-Abtastkopf

Alle TONiC Abtastköpfe verwenden die neueste Generation der einzigartigen Filteroptik von Renishaw, die jetzt für ein extrem geringes Rauschen optimiert wurde. Das erweiterte Design der Optiken wird des Weiteren durch die dynamische Signalverarbeitung, einschließlich Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) verstärkt. Daraus ergeben sich Ausgangssignale mit einer hervorragenden Signalreinheit, die einen SDE von ±30 nm, ein Rauschen (Jitter) von 0,51 nm RMS und Auflösungen bis 1 nm ermöglichen.

Alle TONiC Maßbänder verfügen über die einzigartige optische IN-TRAC Referenzmarke, die direkt in den Inkrementinformationen eingebettet ist und durch Tastendruck eine elektronische automatische Synchronisierung ermöglicht - eine Funktion, die auch dezentral durchgeführt werden kann. Die IN-TRAC Referenzmarke hat außerdem den Vorteil, dass sie über den gesamten Geschwindigkeits- und Temperaturbereich phasensynchron ausgerichtet bleibt.

Hochgenaue vakuumkompatible Maßbänder

RELM Invar-Maßstäbe bieten einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von "null" und eine garantierte Gesamtgenauigkeit besser als ±1 µm bei Längen bis zu 1130 mm. Die RSLM Edelstahlmaßstäbe bieten höchste Genauigkeit in Verbindung mit den Vorteilen eines Maßbandes und sind jetzt in Längen bis zu 10 m erhältlich, wodurch sie sich besonders gut für die Verwendung mit langen Achsen, die eine kompromisslose Messgenauigkeit verlangen, eignen.

Die TONiC UHV Abtastköpfe werden unter reinen Bedingungen gefertigt, mit Materialien und Klebstoffen, die speziell aufgrund ihrer geringen Ausgasungswerte gewählt wurden. Anschließend wird das Produkt zur Beibehaltung der Reinheit in einer vakuumgerechten Verpackung verschlossen.

Testergebnisse der Restgasanalyse (RGA)

Unabhängige Restgasanalysen (RGAs) haben erwiesen, dass sich das gesamte System zur Verwendung in reinen Vakuumbedingungen eignet. Ebenso eignet es sich für Ausbackzyklen von 120°C für Einsätze in UHV-Umgebungen. Typische Anwendungen sind z. B. Waferhandling, Waferinspektion und die wissenschaftliche Forschung.

Ergebnisse des RGA-Spektrums für TONiC Ultrahochvakuum (UHV) Abtastköpfe

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Zwischenergebnis: Dieses RGA-Spektrum bezieht sich auf einen TONiC UHV Abtastkopf ohne Kabel. Diese Datei wird vor der Produkteinführung aktualisiert, sodass ein RGA-Spektrum für einen TONiC Abtastkopf mit UHV-kompatiblem Kabel berücksichtigt wird.

WICHTIG! Das TONiC Interface sollte außerhalb der UHV-Umgebung platziert werden.

Ergebnisse des RGA-Spektrums für RSLM Edelstahlmaßstäbe

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Basisdruck des Systems 3 x 10-10 mbar.
Spektren zeigen hauptsächlich H20 und CO, CO2 und C. Die Kohlenstoffprodukte entstehen zumeist aus heißen Filamenten von der RGA und Ion Gauge in Gegenwart von zurückbleibendem H20.
Hier handelt es sich um saubere Spektren.

Invar® ist ein eingetragenes Warenzeichen von Arcelor Mittal