TONiC™ UHV vakuumtaugliches Winkelmess-System

Der TONiC UHV Abtastkopf für Winkelmess-Systeme ist mit Renishaws präzise graduierten rotativen Maßbändern mit optischen IN-TRAC™ Referenzmarken, einschließlich der hochgenauen RESM und REXM-Ringe, kompatibel. Diese Mess-Systeme bieten ein hochgenaues Positionsfeedback in UHV-Umgebungen. Der TONiC UHV Abtastkopf für Winkelmess-Systeme ist ab dem zweiten Quartal 2010 erhältlich und wurde speziell für Halbleiter- und wissenschaftliche Anwendungen, bei denen hohe Leistungen und Zuverlässigkeit unerlässlich sind, konzipiert.

Leistungsstarker TONiC Inkremental-Abtastkopf

Alle TONiC Abtastköpfe verwenden die neueste Generation der einzigartigen Filteroptik von Renishaw, die jetzt für ein extrem geringes Rauschen optimiert wurde. Das erweiterte Design der Optiken wird des Weiteren durch die dynamische Signalverarbeitung, einschließlich Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) verstärkt. Daraus ergeben sich Ausgangssignale mit einer hervorragenden Signalreinheit, die einen SDE von ±30 nm, ein Rauschen (Jitter) von 0,51 nm RMS und eine Auflösung bis 0,00075 Winkelsekunden ermöglichen.

Alle TONiC Maßbänder verfügen über die einzigartige optische IN-TRAC Referenzmarke, die direkt in den Inkrementinformationen eingebettet ist und durch Tastendruck eine elektronische automatische Synchronisierung ermöglicht - eine Funktion, die auch dezentral durchgeführt werden kann. Die IN-TRAC Referenzmarke hat außerdem den Vorteil, dass sie über den gesamten Geschwindigkeits- und Temperaturbereich phasensynchron ausgerichtet bleibt.

Hochgenaue monolithische Edelstahlringe

RESM-Ringe werden aus monolithischem, beschichtungsfreiem Edelstahl der 300er Serie, das speziellen Reinigungs- und Entfettungsverfahren unterzogen werden kann, hergestellt. Die Ringe besitzen einen großen Durchlass und kleinen Querschnitt und bieten somit ein einfaches Design bei minimaler Masse und Trägheit. Außerdem verfügen die Ringe über die patentierte Konusmontage von Renishaw, die eine einfache und genaue Justierung ermöglicht, verbunden mit einer hohen Stabilität über eine breite Temperaturspanne. RESM-Ringe für UHV-Anwendungen sind in Größen zwischen 52 mm und 550 mm erhältlich; Sondergrößen und größere Durchmesser auf Anfrage.

Für die leistungsfähigsten Achsen ist TONiC UHV auch mit hochgenauen REXM-Ringen kompatibel. Beim Einsatz mit zwei Abtastköpfen weisen REXM-Ringe mit einem Durchmesser über 100 mm eine Installationsgenauigkeit kleiner als ±1 Winkelsekunde auf. Der Einsatz eines zweiten Abtastkopfes ist nun, dank des DSi Dual Signal Interface, einfacher, da es für die Kombination der Inkrementalkanäle und die Referenzmarkensignale sorgt und das System somit der Steuerung wie ein hochgenaues Winkelmess-System mit nur einem Sensor erscheint.

Die TONiC UHV Abtastköpfe werden unter reinen Bedingungen gefertigt, mit Materialien und Klebstoffen, die speziell aufgrund ihrer geringen Ausgasungswerte gewählt wurden. Anschließend wird das Produkt zur Beibehaltung der Reinheit in einer vakuumgerechten Verpackung verschlossen.

Testergebnisse der Restgasanalyse (RGA)

Unabhängige Restgasanalysen (RGAs) haben erwiesen, dass sich das gesamte System zur Verwendung in reinen Vakuumbedingungen eignet. Ebenso eignet es sich für Ausbackzyklen von 120°C für Einsätze in UHV-Umgebungen.

Typische Anwendungen sind z. B. Waferhandling, Waferinspektion und die wissenschaftliche Forschung.

Ergebnisse des RGA-Spektrums für TONiC Ultrahochvakuum (UHV) Abtastköpfe

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Zwischenergebnis: Dieses RGA-Spektrum bezieht sich auf einen TONiC UHV Abtastkopf ohne Kabel. Diese Datei wird vor der Produkteinführung aktualisiert, sodass ein RGA-Spektrum für einen TONiC Abtastkopf mit UHV-kompatiblem Kabel berücksichtigt wird.

WICHTIG! Das TONiC Interface sollte außerhalb der UHV-Umgebung platziert werden.

Ergebnisse des RGA-Spektrums für RESR Winkelmessringe (baugleich mit RESM-Ringen)

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Bitte beachten Sie, dass RESR- und RESM-Ringe, abgesehen vom IN-TRAC Referenzmarken-Merkmal, identisch sind. Bei diesem Merkmal handelt es sich um eine Teilungsperiode, die direkt auf dem Edelstahl angebracht wurde, damit das RGA-Spektrum (Restgasanalyse) nicht beeinflusst wird.