 | | UHV-kompatible, optische Mess-Systeme UHV-Systeme von Renishaw sind für Vakuum bis zu 10-11 TORR verwendbar. Das RGH25F UHV Mess-System wird mit dem Maßband RGS20-S sowohl zu Weg- als auch zu Teilrotationsmessungen eingesetzt. Der UHV-Abtastkopf RGH20F liefert hingegen in Verbindung mit dem Winkelmess-System RESR hochpräzise Winkelpositions-Rückmeldungen. Die Produktpalette wird ab dem zweiten Quartal 2010 um TONiC™ UHV lineare Wegmess-Systeme und TONiC™ UHV Winkelmess-Systeme erweitert.
Die UHV Baureihe wurde für den Einsatz in UHV-Umgebung entwickelt, für Wafer dicing, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Vakuumtestgeräte etc... Vorteile von UHV-Abtastköpfen
- Aus UHV-tauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasungsraten und eine saubere RGA zu erhalten
- Ausbackungstemperatur von 120°C
- Berührungsloses, offenes, optisches System für den zuverlässigen Betrieb bei höchsten Geschwindigkeiten ganz ohne Reibung und Verschleiß
- Digital- und Analogausgänge nach Industriestandard mit Auflösungen bis 1 nm
- Minimale Wärmeentwicklung durch niedrigen Stromverbrauch
- Dichtungen mit Entlüftungsöffnungen
- Adaptive Elektronik bietet hochgenaue, langfristige Zuverlässigkeit und einen geringen zyklischen Fehler (±50 nm mit RGH25F UHV und RGH20F UHV, ±30 nm mit TONiC UHV)
- RFI-abgeschirmtes Kabel mit vakuumtauglicher, beschichteter Verdrahtung
- TONiC UHV System verfügt über eine optische Referenzmarke
Erfahren Sie mehr...
RGH25F UHV vacuum compatible linear encoder
RGH20F UHV vacuum compatible rotary (angle) encoder
TONiC UHV vacuum compatible linear encoder
TONiC UHV vacuum compatible rotary (angle) encoder
Obsoleszenzerklärung
Bitte beachten Sie, dass sowohl die RGH25U und RGH25 UHV Abtastköpfe als auch das RGB-Interface aus der Produktion genommen und durch RGH25F, RGH25F UHV bzw. das REF-Interface ersetzt wurden.
| | |
