Planspiegel und Spiegelhalterungen

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Plane mirror in Renishaw mounts Um ein RLE Interferometersystem zu vervollständigen, wird pro Achse des Bewegungssystems lediglich eine zusätzliche, externe optische Komponente benötigt. (Unter Verwendung des Differentialinterferometers sind Optiken am Bewegungssystem sowie ein fester Bezugspunkt, wie z. B. eine Säule oder ein Werkzeug, erforderlich.)

RLE Systeme, die Retroreflektor-konfigurierte Detektorköpfe enthalten, beinhalten außerdem schon die notwendigen Retroreflektor-Zieloptik(en).

Für Anwendungen, die einen Standard Planspiegelinterferometer oder eine Differentialinterferometer-Konfiguration verwenden, bietet Renishaw auf Anfrage Planspiegel-Optiken und verstellbare Spiegelhalterungen.

Planspiegel

Plane mirror with mounting locations Die von Renishaw angebotenen Planspiegel werden auf einem Zerodur® (oder ähnlichem) Substrat gefertigt und besitzen eine harte dielektrische Beschichtung.

Übersicht - Planspiegel-Spezifikationen

 Lokale Ebenheit  < λ/10 über einen Bereich von 12 mm Breite x 7 mm Höhe
 Gesamtebenheit  λ/10
 Spiegelbeschichtung  Hartes Oxid-Dielektrikum
 Reflexionsvermögen  > 97%
 Temperaturbereich für den Betrieb  0 °C bis 40 °C
 Querschnitt  25 mm x 25 mm
 Optische Öffnung  60 mm bis 300 mm (in Schritten von 10 mm)

Spiegelhalterungen

Renishaw RAM10 mirror mounts Zur Befestigung und richtigen Ausrichtung der Spiegel am Bewegungssystem, bietet Renishaw außerdem einstellbare Halterungen, die für Spiegel mit einer Länge bis 350 mm und einem Querschnitt von 25 mm x 25 mm verwendet werden können.

Diese Halterungen bieten eine Gierwinkeljustage von bis zu ±2,5° und eine Neigungswinkeljustage von ±1°. (Der tatsächliche Verstellbereich hängt von der jeweiligen Spiegellänge ab.)

Die von Renishaw angebotenen Spiegelhalterungen sind nicht vakuumtauglich.

 

Zerodur® ist ein registrierter Markenname der Firma Schott Glas Technologies Inc.

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