Um ein RLE Interferometersystem zu vervollständigen, wird pro Achse des Bewegungssystems lediglich eine zusätzliche, externe optische Komponente benötigt. (Unter Verwendung des Differentialinterferometers sind Optiken am Bewegungssystem sowie ein fester Bezugspunkt, wie z. B. eine Säule oder ein Werkzeug, erforderlich.)
RLE Systeme, die Retroreflektor-konfigurierte Detektorköpfe enthalten, beinhalten außerdem schon die notwendigen Retroreflektor-Zieloptik(en).
Für Anwendungen, die einen Standard Planspiegelinterferometer oder eine Differentialinterferometer-Konfiguration verwenden, bietet Renishaw auf Anfrage Planspiegel-Optiken und verstellbare Spiegelhalterungen.
Die von Renishaw angebotenen Planspiegel werden auf einem Zerodur® (oder ähnlichem) Substrat gefertigt und besitzen eine harte dielektrische Beschichtung.
Zur Befestigung und richtigen Ausrichtung der Spiegel am Bewegungssystem, bietet Renishaw außerdem einstellbare Halterungen, die für Spiegel mit einer Länge bis 350 mm und einem Querschnitt von 25 mm x 25 mm verwendet werden können.