Wissenswertes zur Interferometrie

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XL linear measurement set up Laserinterferometerie ist eine bewährte Methode zur hochpräzisen Messung von Längen.

Die Mess-Systeme von Renishaw zur Überprüfung der Leistungsfähigkeit von Maschinen, verwenden in allen Messmodi (nicht nur im linearen Modus) separate Interferometer sowie eine präzisionsstabilisierte Laserquelle, um höchste Präzision und Genauigkeit bieten zu können.

Die Geschichte der Interferometrie

Interferometrie - Der ultimative Messstandard

Homodyne interferometer operating principle Die Verwendung von Lichtinterferenzen als ein Messinstrument wurde bereits in den 80er Jahren des 19. Jahrhunderts zum ersten Mal vorgeführt. Obwohl die Technologie seither weiterentwickelt wurde, hat sich am grundsätzlichen Prinzip der Verwendung von sehr kleinen, stabilen und akkurat definierten Lichtwellenlängen als eine Maßeinheit nichts geändert.

 

Kompensation der Umgebungseinflüsse

Impact of XC-80  compensation Ganz gleich, wie gut Ihre Lasereinheit auch ist (d.h. wie akkurat und "stabil" sie ist), die Messwellenlänge kann sich verändern, wenn Licht durch Luft fällt, da sich die Lufttemperatur, der Luftdruck und die relative Luftfeuchtigkeit von den "Standardwerten" unterscheiden.

Selbst die folgenden kleinen Veränderungen vergrößern die Laserwellenlänge (und gemessene Längen) um 0,25 µm/m

˜0,26 ºC Anstieg der Lufttemperatur

˜0,83 mbar Abnahme des Luftdrucks

˜29% Anstieg in %RH (bei 40 ºC)

Ohne eine zuverlässige und akkurate Wellenlängen-Kompensation wären Fehler von 20 µm/m bis 30 µm/m bei Längenmessungen üblich.

Umweltkompensationseinheiten stellen sicher, dass auch bei den unterschiedlichsten Einsatzbedingungen präzise XL-80 und ML10 Messungen durchgeführt werden können.

Hinweis: Eine Kompensation der Umgebungseinflüsse ist bei Winkel- bzw. Geradheitsmessungen mit einem Lasersystem von Renishaw NICHT notwendig, da diese über die Differenzen von zwei naheliegenden Strahlwegen berechnet werden und sich die Umgebungsfaktoren gegenseitig aufheben. Da Drehachsen-, Ebenheits- und Rechtwinkligkeitsmessungen auch auf diesen Messungen basieren, benötigen sie ebenfalls keine Umgebungskompensation.

 

Separate Interferometrie

Bei einigen Systemen anderer Anbieter befindet sich der Interferometer/Strahlteiler im Laserkopf. Die Befestigung des Interferometers am Laser bedeutet, dass die thermische Ausdehnung des Laserkopfes eine zusätzliche Aufwärmzeit benötigt, bevor hochgenaue Messungen vorgenommen werden können. Durch Verwendung eines abseits angebrachten Strahlteilers garantiert Renishaw hochgenaue Messungen, und das jedes Mal (siehe nachfolgenden Fachbeitrag.)

 

Renishaws Erfahrung in der Interferometrie

Calibrating ML10 Gold Standard Seit über 20 Jahren produziert Renishaw Laserinterferometer-Systeme für den weltweiten Einsatz. Das Renishaw Laser-System ML10 ist heute zu einem Standard für Genauigkeit und zuverlässigen Einsatz geworden und ermöglicht lineare Messungen mit einer Genauigkeit von bis zu ±0,7 µm/m. Es ist das weltweit führende, hochgenaue, tragbare System zur Prüfung der Maschinengenauigkeit.

Seit 2007 ist das Laserinterferometersystem XL-80 mit verbesserter Messleistung (±0,5 µm/m, 50 kHz, 4 m/s) als extrem kompaktes, portables und einfach anzuwendendes System auf dem Markt. Jetzt kann eine noch breitere Gruppe von Anwendern von den Vorteilen der Laser-Interferometrie profitieren.

Auf spezifische Nachfrage nach einer laserbasierten Wegmess-Lösung für geschlossene Regelkreise wurde 1994 unser erstes Laser-Wegmess-System, der HS10, auf den Markt gebracht. Zur Ausweitung der Anwendungsmöglichkeiten für kleinere Maschinen wurde später das laserbasierte Wegmess-System RLE konzipiert, das interferometrische Leistung mit der einfachen Handhabung von Wegmess-Systemen kombiniert. Die erste Generation von RLE10-Systemen wurde 2001 eingeführt und seitdem weiter entwickelt. Zusätzliche Informationen zu diesen Produkten finden Sie unter Laser-Wegmess-Systeme.

 

Technische Daten

Renishaw verfolgt eine Politik der kontinuierlichen Verbesserung. Die auf diesen Seiten angeführten Spezifikationen sind nach gegenwärtigem Wissensstand korrekt. Jedoch behält sich Renishaw das Recht vor, das Aussehen des Produktes und die technischen Daten ohne Vorankündigung zu ändern.

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