Differenzial-Interferometer

Der Differenzialinterferometer-Detektorkopf RLD10-X3-DI ermöglicht die Messung des relativen Versatzes zwischen einem festen Referenzspiegel und einem sich bewegenden Messspiegel. Er ist insbesondere für Anwendungen im Vakuum und kontrollierten Umgebungen geeignet und wird an der Außenwand einer Prozesskammer mittels einfacher 3-Stift-Montage angebracht. Zur Ausrichtung des Detektorkopfes ist kein Zugang zu der Kammer nötig - integrierte Strahlsteueroptiken erlauben die unabhängige Kipp- und Gierwinkelausrichtung des Referenz- und Messstrahles - und dank der speziellen Konzeption des Montagesystems kann der Detektorkopf mit nur minimaler Auswirkung auf die Systemausrichtung entfernt und wieder befestigt werden.

Spezifikation

Die Angaben beziehen sich auf die Verwendung eines RLD10-X3-DI-Kopfes mit einer RLU20-Lasereinheit.

Besonderheiten und Vorteile

• Herausragende Messleistung
  Auflösung der Ausgabe bis 38,6 pm durch sehr gute Frequenzstabilität und extrem niedrigen zyklischen Fehler.
• Differenzielle Konfiguration
  Misst die relative Position von Einheit zu Wirkpunkt bzw. Werkstück zu Werkzeug und beseitigt Gleichtaktstörungen wie die Bewegung der Seitenwand der Kammer infolge von wechselnden Umgebungsbedingungen.
• Schnelle Ausrichtung
  Einfache Ausrichtung außerhalb der Prozesskammer mit Hilfe von vier integrierten Strahlsteueroptiken (±1° Kipp- und Gierwinkelausrichtung für Referenz- und Messstrahl) zum Ausgleich der Toleranzen bei der Kammer- und Spiegelmontage.