Laserinterferometrische Wegmess-Systeme

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Renishaw RLD10 X3 DI Differenzialinterferometer Interferometrische Wegmess-Systeme bieten höchste Genauigkeit zur präzisen Positionsbestimmung. Mit beinahe 25 Jahren Erfahrung in den Bereichen Messanwendungen für Werkzeugmaschinen und Systemtechnologie gilt Renishaw als Marktführer im Gebiet der homodynen Interferometrie.

Das Long-Range HS10 Laser-Wegmess-System wird seit 1994 für Achsmessungen bis 60 m eingesetzt. 2001 wurden dann die laserbasierten Wegmess-Systeme RLE auf den Markt gebracht, die eine einzigartige, patentierte „externe“ Laserquelle und einen über Glasfaser verbundenen Detektorkopf verwenden. Das System wurde seit seiner Einführung mehrfach aktualisiert und mit optionalen Laserquellen, Interferometerkonfigurationen, Echtzeitkompensation sowie verschiedenen Signal-Interfaces ausgestattet. Das RLE-System wird inzwischen von vielen globalen Herstellern von Prozessmaschinen zur Halbleiterfertigung und anderen Short-Range Anwendungen (unter 4 m), bei denen seine Funktionen und Fähigkeiten die Vorteile der Interferometrie bieten, die früher nicht praktikabel waren, eingesetzt.

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