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Maßverkörperungen für optische Messsysteme

Lineare Maßverkörperungen

Maßband mit Goldbeschichtung

Goldmaßband FAQ

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient

Max. Länge der Maßverkörperung

Abtastkopfkompatibilität

RGS

±15 µm/m

20 µm/40 µm

Mittels Endklemmen thermisch auf den Untergrund angepasst

Für Längen >50 m wenden Sie sich bitte an Ihre Renishaw-Niederlassung

RGH22, RGH24, RGH25F, RGH25F UHV, RGH34, RGH41

RGSZ/RGSN

Wie oben

20 µm

Wie oben

Wie oben

TONiC, TONiC UHV

 

Glasmaßstab

RGS40-G

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient

Max. Länge der Maßverkörperung

Abtastkopfkompatibilität

RCLC

±3 µm

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

130 mm

ATOM

RGS40-G

±4,2 µm/m

40 µm

Wie oben

1,01 m

RGH40

Maßband aus Edelstahl

ATOM RTLF Maßbänder

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Abtastkopfkompatibilität

RTLF

40 µm (hohe Genauigkeit): ±5 µm/m
40 μm: ±15 μm/m
20 μm: ±5 μm/m

20 µm/40 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

10 m

 ATOM

 

Edelstahlmaßband mit Schienenoption

FASTRACK RTLR Maßband

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Abtastkopfkompatibilität

RTLC mit optionalem FASTRACK

±5 µm/m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C  

10 m

VIONiC, VIONiCplus,  TONiC, TONiC UHV

RTLA mit optionalem FASTRACK

±5 µm/m

30 µm

Wie oben

21 m

RESOLUTE, RESOLUTE UHV, RESOLUTE FS (ohne FASTRACK)

RTLR mit optionalem FASTRACK

±15 µm/m

40 µm

Wie oben 

20 m

 RGH45

ZeroMet™ Maßstab 

RELM Maßstab mit IN-TRAC Referenzmarke

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Abtastkopfkompatibilität

RELM/RELE

±1 µm für bis zu 1 m, dann ±1 µm/m

20 µm

0,75 ±0,35 µm/m/°C

1,5 m

VIONiC, VIONiCplus, TONiC, TONiC UHV, SiGNUM

RELA

Wie oben

30 µm

Wie oben

1,5 m

 

RESOLUTE, RESOLUTE UHV, RESOLUTE FS

Edelstahl-Maßstab

RELM Invar-Maßstab

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Abtastkopfkompatibilität

RSLM/RSLE/RSLC

±1,5 µm bis zu 1 m, ±2,25 µm bis zu 2 m, ±3 µm bis zu 3 m, ±4 µm bis zu 5 m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

5 m

VIONiCVIONiCplusTONiC, TONiC UHV, SiGNUM

RSLR

Wie oben

20 µm

Wie oben

5 m

RGH20, RGH20F

RSLA

Wie oben

30 µm

Wie oben

5 m

RESOLUTE, RESOLUTE UHV, RESOLUTE FS

Rotative Maßverkörperungen

Edelstahl-Ring

RESR 3 Ringe

Maßverkörperung

Teilungsgenauigkeit (je nach Ringdurchmesser)

Teilungsperiode

Ringdurchmesser

Abtastkopfkompatibilität

RESR

 ±3,97 bis ±0,38 Winkelsekunden

20 µm/40 µm

52 bis 550 mm

RGH20, RGH20F, RGH40

RESM/REST/RESD

Wie oben

20 µm

Wie oben

VIONiC, VIONiCplusTONiC, TONiC UHV, SiGNUM

RESA

Wie oben

30 µm

Wie oben

RESOLUTE, RESOLUTE UHV, RESOLUTE ETR, RESOLUTE FS

 

Hochgenauer Edelstahl-Ring 

REXM-Ringe

Maßverkörperung

Installierte Genauigkeit (je nach Ringdurchmesser)

Teilungsperiode

Ringdurchmesser

Abtastkopfkompatibilität

REXM/REXT

(≥100 mm Durchmesser) ±1 Winkelsekunde
(75 mm Durchmesser) ±1,5 Winkelsekunden
(≤57 mm Durchmesser) ±2 Winkelsekunden

20 µm

52 bis 417 mm

VIONiCVIONiCplusTONiC, TONiC UHV, SiGNUM

REXA

Wie oben

30 µm

Wie oben

RESOLUTE, RESOLUTE UHV, RESOLUTE ETR, RESOLUTE FS

 

Glasscheibe

RCDM Rasterscheiben verschiedene Größen (rechteckig)

Maßverkörperung

Teilungsgenauigkeit (je nach Ringdurchmesser)

Teilungsperiode

Ringdurchmesser

Abtastkopfkompatibilität

RCDM

±0,5 µm

20 µm/40 µm

17 bis 108 mm

 ATOM