 | SEM-Raman-System Der strukturell-chemische Analysator (SCA) von Renishaw vereinigt zwei bewährte Technologien, die Rasterelektronen-Mikroskopie (SEM) und die Raman-Spektroskopie, zu einer einzigartigen leistungsstarken Technik, die eine morphologische, elementare, chemische, physikalische und elektronische Analyse in einem einzigen Gerät erlaubt.
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Analysefunktionen
- Morphologie und mittlere Ordnungszahl
mittels SEM (SEI und BEI)
- Elementare Zusammensetzung
mittels EDS-Analyse
- Chemische Zusammensetzung und Bestimmung
durch Raman-Spektroskopie
- Physikalische Struktur
(kristallografisch und mechanisch) mittels Raman-Spektroskopie
- Elektronische und physikalische Struktur
durch CL- und PL-Spektroskopie
Anwendungen
Hierzu gehören:
- Materialkunde
Korrosionsuntersuchungen, elektronische Materialien, Polymere, Verbundwerkstoffe
- Halbleiter
Bestimmung der Partikelverunreinigung
- Pharmazie
Bestimmung von Mikroverkapselung („Coating“), Füllstoff und Arzneistoffträger, Polymorphismusstudien
- Forensic
Bestimmung von Sprengstoffen, Drogen, Fasern und Pigmenten
Vorteile
- Gleichzeitige SEM- und Raman-Spektroskopie
Die interessierenden Merkmale lassen sich leicht mittels der Rasterelektronen-Mikroskopie lokalisieren. Mit Hilfe der Raman-Spektroskopie können sie anschließend schnell und eindeutig bestimmt werden.
- EDS-Spektren und Weißlichtbilder von derselben Probenposition
EDS-Spektren, Bildgebungen und Weißlichtbilder können von derselben Probenposition wie das SEM-Bild und das Raman-Spektrum erfasst werden.
- Kathodenlumineszenz (CL)- und Fotolumineszenz (PL)-Spektroskopie
Die Raman-Sammeloptiken sind sowohl mit der PL- als auch mit der CL-Spektroskopie voll kompatibel. Erstere verwendet einen Laser als Erregungsquelle, letztere hingegen einen Elektronenstrahl. Jede Technik kann sowohl elektronische als auch physikalische Informationen über die Probe liefern, und die CL-Methode kann sehr empfindlich gegenüber minimalen Veränderungen der Zusammensetzung und der Restdehnung sein.
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