SiGNUM™ Wegmess-SystemeSchnelle, berührungslose Messungen in Verbindung mit einer dynamischen Signalverarbeitung und der optischen Referenzmarke IN-TRAC™. SiGNUM™ Wegmess-Systeme sind extrem einfach zu verwenden und bieten Leistungsmerkmale, die bisher nur von teureren Mess-Systemen mit feinerer und empfindlicherer Teilungsperiode bekannt waren.
OptionenDer RELM Invar-Maßstab hat einen Ausdehnungskoeffizienten von ~0,6 µm/m/°C und ist in verschiedenen Längen erhältlich. Durch die Verwendung des robusteren Invar-Maßstabes ist der Querschnitt des Maßstabes kleiner als bei Glasmaßstäben. Zusätzlich ist das Handling und die Installation einfacher, ohne das Risiko, dass der Maßstab bricht. Mit einer Genauigkeit von ±1 µm und einer Auflösung bis 5 nm ist RELM das optimale Wegmess-System für nahezu alle linearen Anwendungen. Der Edelstahlmaßstab RSLM ist vergleichbar mit Glasmaßstäben mit feiner Teilungsperiode und ist in Längen bis zu 5 m erhältlich. RSLM bietet eine industrieweit einmalige Gesamtgenauigkeit (einschließlich Steigung und Linearität) von unter ±4 μm bei 5 m Länge! RSLM kann zur platzsparenden Aufbewahrung und einfachen Handhabung aufgerollt werden; nach dem Abrollen lässt er sich wie jeder andere Maßstab nutzen. In Verbindung mit einem geringen zyklischen Fehler (±30 nm) eignet sich der RSLM perfekt für Anwendungen mit langen Verfahrwegen bei hoher Messgenauigkeit. Technik
Durch zusätzliche, aktive Justage der einzelnen Kanal-Stärken und –Offsets sowie durch die Regelung der Spannungsversorgung der IR-LED innerhalb des SiGNUM™ Abtastkopfes wird eine weitere Signalverbesserung erreicht. Als Ergebnis wird ein zyklischer Fehler (Sub-Divisional Error - SDE) von ±30 nm (0,15 % der Teilungsperiode) erzielt. Die Interpolation durch CORDIC-Algorithmen findet innerhalb des SiGNUM™ Si Interface statt. Die IN-TRAC™ Referenzmarke ist im inkrementellen Maßstab, in Form einer dunklen Linie, integriert. Diese Linie wird durch die einzigartigen Filteroptiken erkannt. Mit dazugehöriger Signalerkennung und Ausblendfiltern wird eine Referenzmarke erzeugt, die in beiden Richtungen, bis zur maximalen Verfahrgeschwindigkeit, entsprechend der Auflösung reproduzierbar ist. Die Kalibrierung des Referenzsignals relativ zum Analogsignal wird durch einen einmaligen Kalibrierzyklus bei der Installation durch die Logik im Interface erzielt. Downloads
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