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TONiC™ UHV Inkrementelles Messsystem mit RELM20 Maßband

Merkmale

  • Abtastkopfgröße: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Auflösung bis 1 nm
  • Geschwindigkeit bis 10 m/s
  • Analoge oder digitale Ausgangssignale
  • Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE): typischerweise < ±30 nm
  • Optische IN-TRAC™ Referenzmarke

Vorteile

  • Ultrahochvakuum (UHV)
  • Sehr hohe Genauigkeit in Kombination mit einer thermischen Ausdehnung von fast null
  • Extrem kompaktes Messsystem mit dynamischer Signalverarbeitung für verbesserte Regelgüte
  • Das Diagnosekit bietet Unterstützung bei schwierigen Installationen und hilft bei der Systemoptimierung
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Was ist TONiC UHV?

Mit TONiC UHV lässt sich das kompakte, berührungslose Messsystem von Renishaw bei Ultrahochvakuum-Anwendungen einsetzen, wobei Anwender von einer verbesserten Bewegungsführung profitieren.

TONiC bietet Geschwindigkeiten bis 10 m/s und, in Verbindung mit dem Ti Interface, Auflösungen bis 1 nm sowohl für lineare als auch rotatorische Anwendungen. TONiC Systeme lassen sich dank großzügiger Einstelltoleranzen und Kalibrierung per Knopfdruck schnell und einfach installieren. Die dynamische Signalverarbeitung von TONiC gewährleistet eine verbesserte Signalstabilität mit einem extrem geringen zyklischen Fehler von typischerweise < ±30 nm zur Erzielung einer überragenden Regelgüte.

Was ist ein RELM20 Maßband?

RELM20 ist ein Maßstab aus ZeroMet™, einer Legierung aus Nickel und Eisen mit geringer thermischer Ausdehnung. Er besitzt eine Teilungsperiode von 20 µm.
Er ist mit Glasmaßstäben mit feiner Teilungsperiode vergleichbar und bietet eine Gesamtgenauigkeit (einschließlich Steigung und Linearität) von unter ±1 μm bei einer Länge von 1,5 m. ZeroMet besitzt einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 0,75 ±0,35 μm/m/°C bei 20 °C.
Konstrukteure können zwischen speziellem UHV-kompatiblem Klebstoffband oder Montageklammern wählen, je nach Anforderung. Beide Montagemethoden erlauben eine vom Untergrund unabhängige thermische Ausdehnung.

Was spricht für dieses Messsystem?

Ultrahochvakuum (UHV)

TONiC UHV Abtastköpfe bauen auf der hervorragenden Leistungsfähigkeit der standardmäßigen TONiC Abtastköpfe auf, jedoch wurden sie unter Verwendung UHV-tauglicher Materialien und Verfahren entwickelt und hergestellt, sodass sie sich für UHV-Umgebungen bis 10 -10 Torr eignen.
Die Baureihe der TONiC UHV Messsysteme mit Zubehör ist aus vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasraten und eine nachweislich saubere Restgasanalyse (RGA) zu erhalten. Dadurch eignet sie sich für viele Anwendungen einschließlich Waferhandling/Wafertesting, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Ausrüstung zur Prüfung im Vakuum und vieles mehr.

Einfache Handhabung

Der RELM20 ZeroMet-Maßstab mit geringer thermischer Ausdehnung besitzt einen deutlich geringeren Querschnitt als typische Glasmaßstäbe und erlaubt eine einfachere Handhabung und Installation ohne Bruchgefahr, wodurch der Maßstab hervorragend für höchstanspruchsvolle Präzisionsanwendungen geeignet ist.

Hervorragende Messtechnik

Das TONiC Messsystem verfügt über Renishaws bewährte Filteroptiken und hochentwickelte Signalverarbeitung. Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) Technologien reduzieren das Rauschen in analogen Signalen und digitalen Jitter im Abtastkopf.

TONiC Messsysteme bieten ein außergewöhnlich niedriges Ausgangsrauschen (Jitter von <±0,5 nm RMS) und einen geringen zyklischen Fehler von <±30 nm. Messsysteme können so die Position besser halten und erzeugen weniger Wärme in Anwendungen mit Linearmotoren. Zudem ermöglicht ein niedriger Jitter eine gleichmäßigere Geschwindigkeitsregelung in Hochpräzisionsanwendungen, die mit niedrigen Geschwindigkeiten arbeiten.

Flexible Konfiguration

Die TONiC Baureihe bietet eine Vielzahl externer Interfaces, die für die benötigten Geschwindigkeiten und Auflösungen der jeweiligen Anwendung konfiguriert werden können. Durch die nachträgliche Integration und Konfiguration des externen Interfaces bietet ein vielseitiger TONiC Abtastkopf viele Optionen für die individuelle Anpassung durch den Endnutzer.

Die wahlweise erhältlichen TONiC Interfaces ermöglichen die digitale, analoge oder doppelte Ausgabe von digitalen und analogen Signalen. Das TD (Dual Resolution) Interface bietet zwei wählbare Auflösungen für die Ausgabe. Für großformatige Druckanwendungen ist ein DPI Interface erhältlich. Dank der flexiblen Konfigurationsmöglichkeiten des TONiC Messsystems können OEMs von einer überragenden Regelgüte und hohem Messdurchsatz bei einer Vielzahl verschiedener Anwendungen profitieren.

Interface-Optionen

TD (Dual Resolution) Interface

  • Rechtecksignale mit zwei wählbaren Auflösungen. Ti Interface (rechteckig)
  • Ideal für Anwendungen, bei denen schnelle Bewegungen mit Präzisionsbewegungen kombiniert werden.

DOP (Dual Output) Interface

  • Liefert zeitgleich digitale Rechtecksignale und 1 Vss-Signale.
  • Für Anwendungen entwickelt, bei denen ein oder mehrere Abläufe mit einer Bewegungsachse synchronisiert werden müssen.TONiC ‚DOP'-Interface (Dual Output Interface)

Diagnosekit (optional)

TONiC™ Diagnosekit (Software und Hardware)

Die TONiC Diagnosesoftware kann zur Optimierung der Installation von TONiC Messsystemen verwendet werden und bietet eine schnelle und umfassende Systemkalibrierung. Die Software muss in Verbindung mit der TONiC Diagnosehardware eingesetzt werden, die von Renishaw unter der Artikelnummer A-9411-0011 erhältlich ist. Die Hardware wird über das USB-Kabel (im Kit enthalten) an den PC oder in Reihe mit der Kundenelektronik angeschlossen.

Hier erfahren Sie Näheres zum TONiC Diagnosekit.

Technische Daten

Maßverkörperung

RELM20: hochgenauer ZeroMet-Maßstab mit mittiger Referenzmarke

Auch mit Referenzmarke am Maßstabende als RELE20 erhältlich

Abtastkopfgröße (LxBxH)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Teilungsperiode

20 μm

Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C

0,75 ±0,35 µm/m/°C

Gesamtgenauigkeit bei 20 °C

Zertifiziert auf ±1 µm, Kalibrierung rückführbar auf internationale Normen

Referenzmarke

IN-TRAC Referenzmarke

Verschiedene Referenzmarken-Positionsoptionen, siehe Datenblatt für nähere Informationen

Endschalter

Ein oder zwei Endschalter (bei Bestellung angeben)

Maßbandlänge

20 mm bis 1,5 m

Maximale Geschwindigkeit

Analog

Digital

(Siehe Datenblatt für nähere Informationen)

Bis zu 10 m/s bei -3 dB

Bis zu 10 m/s

Zyklischer Fehler (SDE)

Typischerweise < ±30 nm

Dynamische Signalregelung

Signalaufbereitung in Echtzeit einschließlich Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) für optimale Leistung während des Betriebs

Inkrementalsignale

Analog

Digital


1 Vss (20 µm Teilungsperiode)

Auflösungen von 5 μm bis 1 nm

Elektrische Verbindung

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m und 10 m Kabel mit Miniverbinder (wird direkt an das TONiC Interface angeschlossen)

Spannungsversorgung

5 V ±10%, < 100 mA (analoges System), < 200 mA (digitale Systeme) (ohne Stecker)

Stromverbrauch< 100 mA

Vibration (im Betrieb)

100 m/s2 max bei 55 Hz bis 2.000 Hz

Schock (nicht in Betrieb)

1.000 m/s2, 6 ms, ½ Sinus

Betriebstemperatur (System)

0 ℃ bis +70 °C

Ausbacktemperatur (nicht im Betrieb)

120 °C (nur Abtastkopf und Maßstab)

Schutzklasse

Abtastkopf: IP20

Interface: IP20

Kabelaufbau

Einzeln geschirmte FEP-Aderisolation mit verzinntem Kupfergeflecht

Vollständige technische Details finden Sie in den Datenblättern.