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VIONiC™ Messsysteme

Die VIONiC Baureihe ist Renishaws hochgenaues, digitales inkrementelles Komplettmesssystem für lineare und rotatorische Anwendungen. VIONiC verbindet alle notwendigen Interpolationen und digitale Signalverarbeitung im Abtastkopf, mit einem zyklischen Fehler (SDE) von nur <±10 nm und einer Auflösung bis 2,5 nm.

Erhältlich sind zwei Varianten; VIONiC und VIONiCplus™ Abtastköpfe bieten eine Vielzahl an Konfigurationen, um die Geschwindigkeit und Leistung Ihrer Motion Control Systeme zu optimieren.

Ein optionales Diagnosewerkzeug Advanced Diagnostic Tool (ADT) bietet umfassendes Feedback über eine intuitiv bedienbare Softwareschnittstelle.

* Die Downloads enthalten Datenblätter, Installationshandbücher, Videos, Software, Technische Zeichnungen.

Vorteile

Unterschied zwischen VIONiC und VIONiCplus

Merkmale

VIONiC

VIONiCplus

Ausgangssignale

Digitale Auflösungen von 5 µm bis 20 nm direkt am Abtastkopf

Digitale Auflösungen von 0,1 µm bis 2,5 nm direkt am Abtastkopf

Zyklischer Fehler: rotativ Ø >135 mm und linear

Typischerweise <±30 nm

Typischerweise <±10 nm

Zyklischer Fehler: rotativ Ø <135 mm

Typischerweise <±30 nm

Typischerweise <±20 nm

Jitter (RMS)

Bis min. 1,6 nm

Bis min. 1,6 nm

Maximale Geschwindigkeit

12 m/s

3,63 m/s

Digitale Interpolation mit hoher Geschwindigkeit  

Getakteter Ausgang

Option (MHz)

Nur VIONiC

VIONiC und VIONiCplus

Nur VIONiCplus

Mindestflanken-

abstand* (ns)

Maximale Geschwindigkeit (m/s)

Maximale Geschwindigkeit (m/s)

Maximale Geschwindigkeit (m/s)

5 µm (D)

1 µm (X)

0,5 µm (Z)

0,2 µm (W)

0,1 µm (Y)

50 nm (H)

40 nm (M)

25 nm (P)

20 nm (I)

10 nm (O)

5 nm (Q)

2,5 nm (R)

50

12

12

12

7,25

3,63

1,81

1,45

0,906

0,725

0,363

0,181

0,091

25,3

40

12

12

12

5,80

2,90

1,45

1,16

0,725

0,580

0,290

0,145

0,073

31,8

25

12

12

9,06

3,63

1,81

0,906

0,725

0,453

0,363

0,181

0,091

0,045

51,2

20

12

12

8,06

3,22

1,61

0,806

0,645

0,403

0,322

0,161

0,081

0,040

57,7

12

12

10,36

5,18

2,07

1,04

0,518

0,414

0,259

0,207

0,104

0,052

0,026

90,2

10

12

8,53

4,27

1,71

0,850

0,427

0,341

0,213

0,171

0,085

0,043

0,021

110

08

12

6,91

3,45

1,38

0,690

0,345

0,276

0,173

0,138

0,069

0,035

0,017

136

06

12

5,37

2,69

1,07

0,540

0,269

0,215

0,134

0,107

0,054

0,027

0,013

175

04

12

3,63

1,81

0,730

0,360

0,181

0,145

0,091

0,073

0,036

0,018

0,009

259

01

4,53

0,910

0,450

0,180

0,090

0,045

0,036

0,023

0,018

0,009

0,005

0,002

1038

 *Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel

Zyklischer Fehler (SDE)

Extrem geringer zyklischer Fehler (SDE) von typischerweise <±30 nm für lineare VIONiC und <±10 nm für lineare VIONiCplus Abtastköpfe.

Interpolierte Fehlerwerte bei VIONiC und VIONiCplus

Maßbandoptionen

  • Maßbänder und Maßstäbe werden verwendet, wenn lineare Positionsinformationen benötigt werden - normalerweise in der X-, Y- oder Z-Achse.
  • Rotatorische Maßverkörperungen werden für Winkelpositionsinformationen und zur Bewegungssteuerung rotierender Elemente verwendet.

Edelstahlmaßband mit Schienenoption

Fastrack RTLR rechteckig

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Messsystem

RTLC mit optionalem FASTRACK

±5 µm/m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

10 m

VIONiC mit RTLC, VIONiCplus mit RTLC

ZeroMet™ Maßstab 

RELM Maßstab mit IN-TRAC Referenzmarke

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Messsystem

RELM/RELE

±1 µm für bis zu 1 m, dann ±1 µm/m

20 µm

0,75 ±0,35 µm/m/°C

1,5 m

VIONiC mit RELMVIONiCplus mit RELM

Edelstahl-Maßstab

RELM Invar-Maßstab

Maßverkörperung

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungs-

koeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Messsystem

RSLM/RSLE/RSLC

±1,5 µm bis zu 1 m, ±2,25 µm bis zu 2 m, ±3 µm bis zu 3 m, ±4 µm bis zu 5 m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

5 m

VIONiC mit RSLM, VIONiCplus mit RSLM

Edelstahl-Ring

RESR 3 Ringe

Maßverkörperung

Teilungsgenauigkeit (je nach Ringdurchmesser)

Teilungsperiode

Ringdurchmesser

Messsystem

RESM/REST

±3,97 bis ±0,38 Winkelsekunden

20 µm

52 bis 550 mm

 

 VIONiC mit RESM, VIONiCplus mit RESM

Hochgenauer Edelstahl-Ring 

REXM-Ringe

Maßverkörperung

Installierte Genauigkeit (je nach Ringdurchmesser)

Teilungsperiode

Ringdurchmesser

Messsystem

REXM/REXT

(≥100 mm Durchmesser) ±1 Winkelsekunde
(75 mm Durchmesser) ±1,5 Winkelsekunden
(≤57 mm Durchmesser) ±2 Winkelsekunden

20 µm

52 bis 417 mm

 VIONiC mit REXM, VIONiCplus mit REXM

Optionale Advanced Diagnostic Tools

Das Advanced Diagnostic Tool liefert in Echtzeit umfassende Rückmeldungen über den Zustand der VIONiC Messsysteme und kann zur Unterstützung bei schwierigen Installationen sowie zur Fehlersuche eingesetzt werden. Es bietet:

  • Funktionen für die Fernkalibrierung
  • Signaloptimierung über die Achslänge
  • Angabe der Abtastkopfneigung
  • Endschalter- und Referenzmarkenanzeigen
  • Digitalanzeige der Abtastkopfposition (in Bezug auf die Maßverkörperung)
  • Lissajous-Darstellungen
Nähere Informationen zum Advanced Diagnostic Tool.