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Spiegel und Optiken

Renishaw hat verschiedene Optiken und Spiegelvarianten im Sortiment und bietet damit Lösungen für Ihre spezifische Anwendung.

Planspiegel

Planspiegel mit Befestigungsstellen

Die von Renishaw angebotenen Planspiegel werden auf einem Glassubstrat mit einer sehr geringen thermischen Ausdehnung gefertigt und besitzen eine harte dielektrische Beschichtung.

Vorteile und Merkmale

  • Thermisch stabil – Durch die Fertigung auf einem Substrat mit geringer thermischer Ausdehnung werden Fehler aufgrund von Umgebungsveränderungen minimiert.
  • Stark reflektierend – Die stark reflektierende Spiegeloberfläche (>97%) gewährleistet eine herausragende Leistung.
  • Leicht montierbar – Die Spiegelhalterungen von Renishaw ermöglichen eine einfache Ein- und Ausrichtung.

Abmessungen

Querschnitt25 mm x 25 mm
Optische Öffnung60 mm bis 380 mm (in Schritten von 10 mm)

Spezifikationen

 Lokale Ebenheit < λ/10 über einen Bereich von 12 mm Breite x 7 mm Höhe ( λ = 633 nm)
 Gesamtebenheit < λ/10 über 100 mm <0,5 µm über 500 mm
 Kreuzpolarisation < 0,5%
 Reflexionsvermögen > 97% des einfallenden Strahls
 Material Glas mit geringer thermischer Ausdehnung

Da Konfiguration und Abmessungen je nach Kunden unterschiedlich sein können, sind Planspiegel gesondert zu bestellen. Sie unterliegen möglicherweise längeren Produktionszeiten und einer Mindestbestellmenge. Im Datenblatt unten auf der Seite erhalten Sie außerdem Informationen für eine individuelle Zusammenstellung vor Ort. 

Spiegelhalterungen

Renishaw RAM10 Spiegelhalterungen

Zur Befestigung und richtigen Ausrichtung der Spiegel am Bewegungssystem bietet Renishaw außerdem einstellbare Halterungen, die für Spiegel mit einer Länge bis 350 mm und einem Querschnitt von 25 mm x 25 mm verwendet werden können.

Diese Halterungen bieten eine Gierwinkeljustage von bis zu ±2,5° und eine Neigungswinkeljustage von ±1°. (Der tatsächliche Verstellbereich hängt von der jeweiligen Spiegellänge ab.)

Vorteile und Merkmale

  • Leicht ausrichtbar – Integrierte Kipp- und Gierwinkeljustage zur Beschleunigung des Spiegelausrichtvorgangs.
  • Stabile Montage – Sicherstellung einer stabilen Auflage für den Spiegel, die gleichzeitig die thermische Ausdehnung nach Bedarf zulässt.
  • Nicht einschränkend– Durch die sichere Klemmung des Spiegels nur auf zwei Seiten wird die auf den Spiegel wirkende Beanspruchung reduziert und gleichzeitig die Gefahr minimiert, dass sich der Spiegel nach der Montage verbiegt.

Die von Renishaw angebotenen Spiegelhalterungen sind nicht vakuumtauglich. 

39 mm Vakuumkammerfenster

39 mm Vakuumkammerfenster

Das Renishaw RLE faseroptische Laser-Wegmesssystem nutzt die Interferometrie zur Erzeugung hochauflösender linearer Positionssignale.

Der Differenzialinterferometer-Kopf (RLD10-X3-DI) wird an der Außenwand der Vakuumkammer befestigt. Durch das Vakuumkammerfenster werden die Laserstrahlen zwischen dem Detektorkopf und dem Messspiegel durchgeleitet. Diese Fenster sind auch mit anderen Interferometerkopf-Varianten, wie dem vakuumtauglichen RVI20 Interferometer, einsetzbar, wenn der RLD beispielsweise für Messungen innerhalb der Vakuumkammer benötigt wird.

Renishaw stellt zwar keine Vakuumkammerfenster her, hat das 39 mm Vakuumkammerfenster jedoch nach Kundenwunsch anfertigen lassen, um die Leistungsfähigkeit des RLW Systems zu maximieren.

Empfehlungen zum Einbau

Bitte beachten Sie folgende Hinweise, wenn Sie das Kammerfensters in die Wand der Vakuumkammer einbauen:

  • Das Fenster darf nicht unter Spannung eingesetzt werden, da es sich sonst verzerren und Abweichungen des Strahls von der Sollrichtung verursachen könnte.
  • Mindestens an einer Seite des Kammerfensters muss ein O-Ring als Dichtung in der Vakuumkammerwand eingesetzt werden.

15 mm DI Periskop

15 mm DI Periskop

Das Periskop erhöht den Versatz zwischen dem Mess- und Referenzstrahl des Differenzialinterferometer-Detektorkopfes RLD10-X3-DI.

Das Periskopsystem verwendet zwei Spiegel, um den Versatz um 15 mm zu erhöhen und einen Gesamtabstand von 29 mm zu erzielten (der Versatz in der RLD10-X3-DI Standardausführung beträgt 14 mm). 

Vorteile und Merkmale

  • Erhöhter Versatz – Zusätzlicher Versatz um 15 mm zwischen dem Mess- und Referenzstrahl.
  • Stark reflektierend – Durch den Einsatz stark reflektierender Spiegel wird der Signalstärkeabfall zwischen dem Mess- und Referenzstrahl minimiert.
  • Standardmontage – Das Periskop gewährleistet die Standardmontage des DI-Kopfes. 

Vakuumtaugliches RVI20 Interferometer

Vakuumtaugliches RVI20 Interferometer

Das RVI20 ist ein vakuumtaugliches Interferometer für Planspiegel, das in Verbindung mit einem Renishaw RLD10-A3-XX Detektorkopf die Möglichkeit bietet, die gesamte Messung in der Vakuumumgebung auszuführen.

Das RVI20 wurde für die Installation in der Vakuumkammer entwickelt. Der Laserstrahl wird vom RLD10-A3-XX Detektorkopf durch ein Fenster der Vakuumkammer und dann auf den Planspiegel geleitet.

Vorteile und Merkmale

Vakuumtaugliches RVI20 Interferometer
  • Relativmessungen– Durchführbarkeit von Relativmessungen zwischen zwei Teilen der Maschine, beispielsweise Werkzeug und Werkstück.
  • Vakuumkompatibilität – Mit Hochvakuumanwendungen kompatibel und zur Montage innerhalb der Vakuumkammer geeignet.
  • Hochwertige Optiken – Das RVI20 enthält die hochwertige Interferometeroptik von Renishaw, die normalerweise im RLD Detektorkopf eingesetzt wird.

Das RVI20 Interferometer wurde für den Einsatz mit Laser-Wegmesssystemen, die Messwege innerhalb der Vakuumumgebung erfordern, entwickelt.

Produktinformationen