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RESOLUTE™ UHV Absolut-Messsystem mit RESA30 Winkelmessring

Merkmale

  • Serielle Interfaces: BiSS® C, Panasonic
  • Abtastkopfgröße: 36 x 16,5 x 17,2 mm
  • Auflösung bis 32 Bit pro Umdrehung
  • Geschwindigkeit bis 36.000 min-1
  • Systemgenauigkeit von ±0,52 – 5,49 Winkelsekunden

Vorteile

  • Ring mit geringem Querschnitt und großem Innendurchmesser zur einfachen Installation
  • Großzügige Einstelltoleranzen
  • Geringe Ausgasung für Vakuumumgebungen
  • Weniger als 10 nm RMS Jitter für eine verbesserte Positionsstabilität
  • ±40 nm zyklischer Fehler für gleichmäßige Geschwindigkeitsregelung
  • Optionales Advanced Diagnostic Tool

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Was ist RESOLUTE UHV?

RESOLUTE UHV bietet Absolutmesstechnik für Ultrahochvakuum-Anwendungen. Kunden können damit einen höheren Messdurchsatz erzielen, Beschädigungsrisiken senken und die Zuverlässigkeit verbessern.

RESOLUTE übertrifft alle anderen absoluten Messsysteme, die für UHV-Umgebungen entwickelt wurden. Mit seiner 32-Bit-Auflösung bei Drehzahlen von 36.000 min-1 bietet RESOLUTE eine Spezifikation, die in der Messsystem-Technologie eine bahnbrechende Neuerung darstellt.

Der Queen's Award for Enterprise: Innovation 2015

Gewinner eines Queen's Award for Enterprise 2015 in der Kategorie Innovation

Was ist ein RESA30 Ring?

RESA30 ist ein nahtloser Edelstahlring mit direkt auf dem Außendurchmesser aufgebrachter Absolutcodierung. Zwei Versionen sind in einer Vielzahl verschiedener Größen (Ø52 mm bis Ø550 mm) erhältlich. Messringe mit ‚A‘-Sektion, die eine beeindruckende installierte Genauigkeit bieten, besitzen ein Konusmontagesystem, das weniger enge Fertigungstoleranzen voraussetzt und Exzentrizität beseitigt. Dünne Messringe mit ‚B‘-Sektion, die über eine geringe Trägheit und Masse verfügen, sind ebenfalls erhältlich. Beide Messringausführungen verfügen über einen großen Innendurchmesser zur flexiblen Integration in UHV-Anwendungen. Die berührungslose Funktionsweise verhindert Umkehrspiel, Wellentorsion und andere mechanische Hysteresefehler, die bei gekapselten Systemen üblich sind.

Was spricht für dieses Messsystem?

Einfache Fehlersuche und Wartung

Das Advanced Diagnostic Tool ADTa‑100 ist ein Diagnoseinstrument, das umfassende Echtzeitdaten von den Abtastköpfen der RESOLUTE™ Messsysteme erfasst. Die Informationen werden über die benutzerfreundliche Softwareoberfläche von ADT View angezeigt. Obwohl in den meisten Fällen die integrierte Einstell-LED am Messsystem für die Systemeinrichtung ausreicht, kann das ADT zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen eingesetzt werden. Das ADT kann auch Informationen zur Messsystemleistung liefern und unterstützend bei der Systemfehlersuche eingesetzt werden, um längere Maschinenausfallzeiten zu vermeiden.

UHV (Ultra-Hochvakuum)

RESOLUTE UHV bietet revolutionäre Absolut-Mess-Technologie von Renishaw mit einem Abtastkopf, der in UHV-Umgebungen bis zu 10 -9 Torr eingesetzt werden kann. Die neue Palette an RESOLUTE UHV Messsystemen ist aus Materialien mit sauberer Restgasanalyse (RGA) hergestellt, wodurch sie sich für Hochleistungs-, Halbleiter- und wissenschaftliche Anwendungen eignet.

Großzügige Einstelltoleranzen

RESOLUTE UHV verwendet nicht das herkömmliche Dual-Track-System (zwei nebeneinanderliegende Spuren, eine inkremental und eine absolut), das schon bei kleinen Winkelabweichungen zu Messfehlern führt. Dieses Absolut-Messsystem verwendet stattdessen ein optisches, single-track Absolut-Maßband und verbindet die Absolutposition und die eingebettete Phaseninformation in einem Code. Diese Technologie ermöglicht RESOLUTE UHV weitaus großzügigere Einstelltoleranzen (Gierwinkeltoleranz von ±0,5°) für eine schnelle und einfache Installation sowie eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit auf Dauer – selbst dann, wenn sich die Bewegungsachsen im Laufe der Zeit absetzen oder bewegen. Eine zusätzliche Unterstützung bei der Installation und Diagnose bietet die am Abtastkopf integrierte Einstell-LED.

Optionales Advanced Diagnostic Tool ADTa-100

Advanced Diagnostic Tool ADTa-100

Das RESOLUTE Messsystem ist mit dem Advanced Diagnostic Tool ADTa-100 und der Software ADT View kompatibel. Sie bieten eine umfassende Echtzeit-Datenrückmeldung vom Messsystem zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen und für die Diagnose. Die intuitiv bedienbare Softwareoberfläche bietet Folgendes:

  • Fernkalibrierung
  • Signaloptimierung über die gesamte Achslänge
  • Digitalanzeige der Messsystemposition (in Bezug auf die Maßverkörperung)
  • Datenexport und -speicherung
  • Null setzen

Serielle Interfaces

Serielle InterfacesBeschreibungDatenblattKompatible Produkte
BiSS C

Renishaw unterstützt das unidirektionale BiSS C Protokoll für Absolut-Messsysteme. BiSS C ist ein serielles Hochgeschwindigkeits-Interface, das sich bestens für dynamische Achsen eignet, die hohe Beschleunigungen, gleichmäßige Geschwindigkeitsregelung, eine hervorragende Wiederholgenauigkeit sowie bestmögliche Positionsstabilität erfordern.
RESOLUTE mit BiSS C ist als Weg- und als Winkelmesssystem erhältlich und mit einer großen Auswahl an Standardsteuerungen, Antrieben, Digitalanzeigen und PC-Zählerkarten kompatibel.

RESOLUTE BiSS C

Seite BiSS C kompatible Produkte

Panasonic

RESOLUTE mit seriellem Interface von Panasonic ist in verschiedenen Ausführungen als Weg- und Winkelmesssystem erhältlich. Das mit den Antrieben der A5 und A6 Baureihen kompatible Messsystem bietet wiederholgenaues Feedback mit hoher Auflösung zur besseren Servo- und Geschwindigkeitssteuerung.

RESOLUTE Panasonic

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Technische Daten

Maßverkörperung

Nahtloser, absolut codierter Edelstahlring mit geringem Querschnitt, Standard ‚A‘-Sektion mit konischem Innendurchmesser oder ‚B‘-Sektion mit geringer Trägheit

Abtastkopfgröße (LxBxH)

36 mm x 16,5 mm x 17,2 mm

Teilungsperiode

Nominal 30 µm

Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C15,5 ±0,5 µm/m/°C

Ring-Außendurchmesser

52 mm bis 550 mm

Systemgenauigkeit*

±5,49 bis ±0,52 Winkelsekunden (je nach Ringdurchmesser)

Maximale Geschwindigkeit

(Siehe Datenblatt für nähere Informationen)

36.000 min-1 (auf 52 mm Ring)

Serielle Interfaces†

BiSS C, Panasonic

Auflösungen

BiSS C: 18-Bit, 26-Bit und 32-Bit

Panasonic: 23-Bit und 32-Bit

Zyklischer Fehler (SDE)

±40 nm

Elektrische Verbindung

Bis 10 m Kabel ohne Stecker

Spannungsversorgung

5 V ±10%, 250 mA bei 5 V (mit Abschlusswiderstand)

Vibration (im Betrieb)

100 m/s2 max. bei 55 Hz bis 2.000 Hz

Schock (nicht in Betrieb)

1.000 m/s2, 6 ms, ½ Sinus

Betriebstemperatur

0 ℃ bis +75 °C

Ausbacktemperatur (nicht im Betrieb)

120 °C

Schutzklasse

IP30

Kabelaufbau

Einzelne Abschirmung mit versilbertem Kupfergeflecht. FEP-Aderisolation über verzinntem Kupferdraht.

Vollständige technische Details finden Sie in den Datenblättern.

* Die Systemgenauigkeit entspricht dem Teilungsfehler plus dem zyklischen Fehler. Teilungsgenauigkeit ist der maximale Fehler zwischen dem von einem einzelnen Abtastkopf gemessenen Winkel und der tatsächlichen Rotation. Installationseinflüsse wie Exzentrizitäten sind nicht eingeschlossen.

Weitere serielle Interfaces werden ständig hinzugefügt.