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RLD10 Differenzialinterferometer

Differenzialinterferometer erlauben Messungen gegen eine definierte Referenz.

Der Differenzialkopf verfügt über ein einzigartiges optisches Prinzip zur Gewährleistung eines geringen zyklischen Fehlers. Integrierte Strahlsteueroptiken ermöglichen eine Kipp- und Gierwinkelausrichtung während der Einrichtung, wodurch der Ausrichtvorgang verbessert wird (nur für Planspiegelanwendungen geeignet).

Der Detektorkopf RLD10-X3-DI wird an der Außenwand einer Prozesskammer mittels einfacher 3-Stift-Montage angebracht. Zur Ausrichtung des Detektorkopfes ist kein Zugang zu der Kammer nötig - integrierte Strahlsteueroptiken erlauben die unabhängige Kipp- und Gierwinkelausrichtung des Referenz- und Messstrahles - und dank der speziellen Konzeption des Montagesystems kann der Detektorkopf mit nur minimaler Auswirkung auf die Systemausrichtung entfernt und wieder befestigt werden.

Vorteile und Merkmale

  • Herausragende Messleistung – Auflösung der Ausgabe bis 38,6 pm durch sehr gute Frequenzstabilität und extrem niedrigen zyklischen Fehler.
  • Differenzielle Konfigurationen – Misst die relative Position des Tisches zur Säule und beseitigt dadurch Gleichtaktstörungen wie die Bewegung der Seitenwand der Kammer infolge von wechselnden Umgebungsbedingungen.
  • Schnelle Ausrichtung – Einfache Ausrichtung außerhalb der Vakuumkammer mithilfe von vier integrierten Strahlsteueroptiken zum Ausgleich der Toleranzen bei der Kammer- und Spiegelmontage.

Spezifikationen 

Verfahrweg der Achsen0 m - 1 m
Auflösung (Auflösung mit RLU konfiguriert)Analoges Rechtecksignal = λ/4 (158 nm)
Digitales Rechtecksignal = 10 nm
RPI20 Auflösung = 38,6 pm

Nichtlinearitätsfehler des Systems* (SDE)

*Interface ausgenommen

<±1 nm unter 50 mm/s mit >70% Signalstärke
<±6 nm bei 1 m/s mit >50% Signalstärke
Maximale GeschwindigkeitBis zu 1 m/s
Der Differenzialinterferometer-Detektorkopf wird häufig mit der RLU20 von Renishaw konfiguriert. Die hohe Stabilität der RLU20 Laserquelle in Verbindung mit der Leistung des Differenzialinterferometer-Kopfes ist ideal für Messungen innerhalb von Vakuumkammern und anderen streng kontrollierten Umgebungen.

Produktinformationen