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RLD10 Planspiegelinterferometer

Planspiegelinterferometer für XY-Tische

RLD10 Detektorköpfe beinhalten die Interferometeroptik, eine einzigartige mehrkanalige Strahlerkennungselektronik, eine Ausgangsoptik und eine integrierte Strahlsteuerung. Für den RLD10 Detektorkopf sind Varianten sowohl mit 0° als auch 90° erhältlich.

Vorteile und Merkmale

  • Doppelachsenlösungen - Doppelachsen-Planspiegelsysteme sind die ideale Lösung für Anwendungen auf XY-Tischen.
  • Hohe Auflösung - Planspiegelsysteme können auch bei Anwendungen eingesetzt werden, bei denen eine höhere Auflösung im Vergleich zu Retroreflektorsystemen erforderlich ist.
  • Sensible Umgebungen - Planspiegelinterferometer-Detektorköpfe sind auch als Low-Power-Variante erhältlich. Geeignet für Anwendungen, bei denen die Verlustleistung noch geringer als die spezifizierten < 2 W des Standard-RLD10 sein muss.
RLD Detektorköpfe mit Spiegeln

Spezifikationen 

Verfahrweg der Achsen 0 m bis 1 m
Auflösung (mit RLU konfiguriert)

Analoges Rechtecksignal = λ/4 (158 nm)
Digitales Rechtecksignal = 10 nm
RPI20 Auflösung = 38,6 pm

Nichtlinearitätsfehler des Systems* (SDE)

*Interface ausgenommen

<±2,5 nm unter 50 mm/s mit >70% Signalstärke
<±7,5 nm bei 1 m/s mit >50% Signalstärke
Maximale GeschwindigkeitBis zu 1 m/s 


Für Nicht-Vakuum-Anwendungen ist eine Kompensation des Brechungsindexes erforderlich. Renishaw bietet das RCU10 Echtzeit-Kompensationssystem zum Ausgleich dieser Veränderungen an.

Auflösungen bis 38,6 Pikometer können durch die Integration eines RPI20 Parallel-Interface in ein RLE-System erreicht werden. Dieses Interface wandelt analoge Sinus-/Kosinus Differenzsignale mit 1 Vss in Digitalsignale im Parallelformat um. Nähere Informationen zu unserem Zubehör sind unter RCU10 Kompensationssystem und Interfaces für Laser-Wegmesssysteme zu finden.

Produktinformationen