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RLD10 Retroreflektor-Interferometer

Retroreflektor-Interferometer für Anwendungen in langen Messbereichen und mit hoher Geschwindigkeit.

RLD10 Detektorköpfe beinhalten die Interferometeroptik, eine einzigartige mehrkanalige Strahlerkennungselektronik, eine Ausgangsoptik und eine integrierte Strahlsteuerung. Für den RLD10 Detektorkopf sind Varianten sowohl mit 0° als auch 90° erhältlich.

Vorteile und Merkmale

  • Mehrachsenlösungen - Einzel- und Doppelachsen-Retroreflektorsysteme bieten eine ideale Lösung für Anwendungen in mehreren Achsen.
  • Langer Messbereich und hohe Geschwindigkeit - Retroreflektorinterferometer-Detektorköpfe ermöglichen Anwendungen mit größeren Messbereichen und höheren Geschwindigkeiten, für die ein Planspiegelinterferometer ungeeignet ist.
  • Sensible Umgebungen - Erhältlich auch als Low-Power-Variante für Anwendungen, bei denen die Verlustleistung noch geringer als die spezifizierten < 2 W des Standard-RLD10 sein muss.

Spezifikationen 

Verfahrweg der Achsen0 m bis 4 m
Auflösung (mit RLU konfiguriert)

Analoges Rechtecksignal = λ/2 (316 nm)
Digitales Rechtecksignal = 20 nm
RPI20 Auflösung = 77,2 pm

Nichtlinearitätsfehler des Systems* (SDE)

*Interface ausgenommen

<±5 nm unter 100 mm/s mit >70% Signalstärke
<±13 nm bei 2 m/s mit >50% Signalstärke
Maximale GeschwindigkeitBis zu 2 m/s

Für Achslängen über 4 m empfiehlt sich das HS20 Laser-Wegmesssystem, das bis zu 60 m lange Achsen unterstützt.

Für Nicht-Vakuum-Anwendungen ist eine Kompensation des Brechungsindexes erforderlich. Renishaw bietet das RCU10 Echtzeit-Kompensationssystem zum Ausgleich dieser Veränderungen an. Von Renishaw gelieferte Reflektoren eignen sich möglicherweise nicht für Anwendungen im Vakuum oder in vakuumähnlichen Zuständen.

Auflösungen bis 38,6 Pikometer können durch die Integration eines RPI20 Parallel-Interface in ein RLE-System (Planspiegel-Konfiguration) erreicht werden. Für eine verbesserte Auflösung mit digitalem Ausgang bieten Renishaws Interpolatoren der REE-Serie Auflösungen bis zu 0,395 nm (Planspiegel-Konfiguration). Dieses Interface wandelt analoge Sinus-/Kosinus Differenzsignale mit 1 Vss in Digitalsignale im Parallelformat um. Nähere Informationen zu unserem Zubehör sind unter RCU10 Kompensationssystem und Interfaces für Laser-Wegmesssysteme zu finden.

Produktinformationen