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UHV-kompatible, optische Messsysteme

Merkmale

  • Aus UHV-tauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasungsraten zu erhalten.
  • Saubere RGA
  • Ausbacktemperatur bis 120 °C
  • Berührungsloses, offenes, optisches System für den zuverlässigen Betrieb bei höchsten Geschwindigkeiten ohne Reibung und Verschleiß
  • Kein unbelüfteter Hohlraum
  • Auswahl an hochgenauen linearen und rotativen Maßverkörperungen

Bei vielen industrielle Prozessen würde die Gegenwart von erheblichen Mengen an Luft oder anderen Gase das Endprodukt beeinträchtigen. Aus diesem Grund müssen diese Prozesse in einer Umgebung stattfinden, die bis auf minimalste Restwerte leer gepumpt wurde. Werden bei diesen Prozessen Bewegungssteuerungen eingesetzt, dann sind vakuumkompatible Messsysteme notwendig.

Alle UHV-kompatiblen Messsysteme von Renishaw wurden zur Verwendung mit verschiedenen wissenschaftlichen, Halbleiter und anderen fortschrittlichen Industrieanwendungen für Vakuum bis 10-10 Torr konzipiert. Die grundlegenden Funktionsweisen sind dieselben wie die für die entsprechenden Normalklima-Produkte; allerdings wurden die UHV-Ausführungen aus speziellen sauberen, vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen so konzipiert, dass geschlossene Hohlräume vermieden wurden. Eine Tauglichkeitsprüfung der Produkte in UHV-Umgebungen wird von einer unabhängigen Prüfstelle, einschließlich eines Restgasanalysen-Spektrumtests, durchgeführt (auf Anfrage erhältlich).

UHV-kompatibel Logo

Die Produktpalette umfasst absolute RESOLUTE™, inkrementelle TONiC™ und RGH25F Abtastköpfe, sowie verschiedene lineare und rotative Maßverkörperungen, die eine hervorragende Leistung und hohe Zuverlässigkeit bieten.

UHV Absolut-Messsysteme

RESOLUTE UHV ist das erste absolute berührungslose Messsystem für UHV-Umgebungen und arbeitet nach derselben Funktionsweise wie die übrige RESOLUTE Reihe. Hierdurch entsteht ein Messsystem mit einer hohen Auflösung sowie einer großen Auswahl von seriellen Protokollen in Verbindung mit großen Einstelltoleranzen und eingebauter Sicherheit. RESOLUTE erfasst die Absolutposition unmittelbar nach dem Einschalten und verhindert unkontrollierte Bewegungen, erleichtert eine komplette Kontrolle über die Achsen ohne Referenzfahrten oder Inbetriebnahmeroutinen. Mit einer Auflösung von 1 nm, einem SDE von ±40 nm und <10 nm RMS Rauschen bietet RESOLUTE seinen Anwendern ein erhebliches Leistungsupgrade.

UHV inkrementelle Messsysteme

Die inkrementellen Abtastköpfe der Baureihe umfassen die dynamische Signalverarbeitung, bestehend aus Auto Gain Control (AGC) für solide und zuverlässige Signale über die erweiterte Lebensdauer der Maschine und Auto Offset Control (AOC) für eine verbesserte Signaltreue. AOC und das geringe Positionsrauschen des Systems tragen außerdem zur Reduzierung der Gleichlaufschwankungen bei direkt angetriebenen Systemen bei und dienen somit der Minimierung der Wärmeentwicklung bei Motoren innerhalb des Vakuums.

Eine hohe Genauigkeit ist, dank linearer Maßverkörperungen, einschließlich der Option eines selbstklebenden Maßbands sowie Maßstäben aus Edelstahl bzw. ZeroMet, gesichert. Winkelmesssystem-Optionen sind u.a. RESR / RESM-Ringe mit geringem Querschnitt und der hochgenaue REXM-Ring mit einer garantierten installierten Genauigkeit besser ±1 Winkelsekunde.