VIONiC™ Messsysteme
Die Messsystembaureihe VIONiC ist Renishaws leistungsfähigstes, inkrementelles, optisches Messsystem. Es liefert direkte digitale Positionsrückmeldungen in Verbindung mit herausragender Messgenauigkeit, hohen Geschwindigkeiten und großer Zuverlässigkeit. Im VIONiC Abtastkopf ist die bewährte Filteroptik und Interpolationstechnologie von Renishaw integriert. Dies gewährleistet höchste zyklische Genauigkeit und eine hohe Schmutzunempfindlichkeit und bietet den Vorteil, dass keine zusätzlichen Adapter oder gesonderte Schnittstellen erforderlich sind.
Zudem sind VIONiC Abtastköpfe mit verschiedensten linearen, rotativen und Teilkreis-Maßverkörperungen kompatibel, von ZeroMet™ Maßbändern mit geringer Ausdehnung bis hin zu hochgenauen REXM Ringen. Dies macht die VIONiC Baureihe zum Messsystem der Wahl für Anwendungen, die Flexibilität und hervorragende Messleistung erfordern.
Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE)
In der VIONiC Messsystembaureihe ist die bewährte Filteroptik und Signalverarbeitung für überragende Messleistung integriert. Die hochentwickelte Interpolationstechnologie bietet eine hohe zyklische Genauigkeit von typischerweise < ±15 nm: die höchste der optischen Messsysteme von Renishaw.
Hohe Verfahrgeschwindigkeit kombiniert mit feiner Auflösung
Der VIONiC Abtastkopf verfügt über einen intelligent interpolierenden Chip, der eine hohe Auflösung von 2,5 nm erzielt und damit hohe Präzision und Wiederholgenauigkeit für jede Anwendung bietet. Das Messsystem ist mit einer maximalen Taktrate von 50 MHz erhältlich und arbeitet mit Geschwindigkeiten bis 12 m/s. Bei einer Auflösung von 0,1 μm sind Geschwindigkeiten von bis zu 3,63 m/s möglich, ideal für die Maximierung des Durchsatzes in den anspruchsvollsten Prozessen der Halbleiterfertigung.
Advanced Diagnostic Tool
VIONiC Messsysteme lassen sich dank des automatischen Kalibriermodus auch einfach installieren. Ein optionales Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 ist erhältlich, um in Echtzeit Informationen zum Messsystem während der Installation oder aber zur Diagnose bei der Anwendung abzurufen.
Finden Sie die passende VIONiC Maßverkörperung
Linear
Maßverkörperung | Produktname | Genauigkeit | Teilungsperiode | Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | Max. Länge der Maßverkörperung |
Edelstahlmaßband mit Schienenoption
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Bis 10 m (> 10 m auf Anfrage) | |
Schmales Edelstahlmaßband
| ±5 µm/m | 20 µm | Wie Installationsuntergrund, wenn Maßbandenden mit Endklemmen fixiert sind | Bis 20 m (> 20 m auf Anfrage) | |
ZeroMet Maßstab
| RELM/RELE | ±1 µm für bis zu 1 m, dann ±1 µm/m | 20 µm | 0,75 ±0,35 µm/m/°C | Bis 1,5 m |
Edelstahl-Maßstab
| ±1,5 µm bis zu 1 m, ±2,25 µm bis zu 2 m, ±3 µm bis zu 3 m, ±4 µm bis zu 5 m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Bis 5 m |
Teilrotation
Maßverkörperung | Produktname | Genauigkeit | Teilungsperiode | Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | Lieferlänge |
Schmales Edelstahlmaßband für Teilkreismessungen
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Bis 20 m (> 20 m auf Anfrage) |
Rotativ
Maßverkörperung | Produktname | Genauigkeit (je nach Ringdurchmesser) | Teilungsperiode | Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | Ringdurchmesser |
Edelstahl-Ring  | Teilungsgenauigkeit: ±3,97 bis ±0,38 Winkelsekunden | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 bis 550 mm | |
Hochgenauer Edelstahl-Ring  | REXM20/REXT20 | Installierte Genauigkeit: (≥ 100 mm Durchmesser) ±1 Winkelsekunde | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 bis 417 mm |
Optionales Advanced Diagnostic Tool ADTi-100
Das VIONiC Messsystem ist mit dem Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 und der Software ADT View kompatibel. Sie bieten eine umfassende Echtzeit-Datenrückmeldung vom Messsystem zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen und für die Diagnose. Die intuitiv bedienbare Softwareoberfläche bietet Folgendes:
- Fernkalibrierung
- Signaloptimierung über die gesamte Achslänge
- Angabe der Abtastkopfneigung
- Endschalter- und Referenzmarkenanzeige
- Digitalanzeige der Messsystemposition (in Bezug auf die Maßverkörperung)
- Kontrolle des Geschwindigkeit-Zeit-Diagramms
- Datenexport und -speicherung
Vorteile
Geschwindigkeit
| Zählerfrequenz getakteter Ausgang (MHz) | Maximale Geschwindigkeit (m/s) | Mindestflankenabstand* (ns) | |||||||||||
| D (5 µm) | X (1 µm) | Z (0,5 µm) | W (0,2 µm) | Y (0,1 µm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2,5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7,25 | 3,63 | 1,81 | 1,45 | 0,906 | 0,725 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 25,3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5,80 | 2,90 | 1,45 | 1,16 | 0,725 | 0,580 | 0,290 | 0,145 | 0,073 | 31,8 |
| 25 | 12 | 12 | 9,06 | 3,63 | 1,81 | 0,906 | 0,725 | 0,453 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 0,045 | 51,2 |
| 20 | 12 | 12 | 8,06 | 3,22 | 1,61 | 0,806 | 0,645 | 0,403 | 0,322 | 0,161 | 0,081 | 0,040 | 57,7 |
| 12 | 12 | 10,36 | 5,18 | 2,07 | 1,04 | 0,518 | 0,414 | 0,259 | 0,207 | 0,104 | 0,052 | 0,026 | 90,2 |
| 10 | 12 | 8,53 | 4,27 | 1,71 | 0,850 | 0,427 | 0,341 | 0,213 | 0,171 | 0,085 | 0,043 | 0,021 | 110 |
| 08 | 12 | 6,91 | 3,45 | 1,38 | 0,690 | 0,345 | 0,276 | 0,173 | 0,138 | 0,069 | 0,035 | 0,017 | 136 |
| 06 | 12 | 5,37 | 2,69 | 1,07 | 0,540 | 0,269 | 0,215 | 0,134 | 0,107 | 0,054 | 0,027 | 0,013 | 175 |
| 04 | 12 | 3,63 | 1,81 | 0,730 | 0,360 | 0,181 | 0,145 | 0,091 | 0,073 | 0,036 | 0,018 | 0,009 | 259 |
| 01 | 4,53 | 0,910 | 0,450 | 0,180 | 0,090 | 0,045 | 0,036 | 0,023 | 0,018 | 0,009 | 0,005 | 0,002 | 1038 |
*Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel
Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE)
Interpolierter Fehler – 10 Fehlerzyklen
X-Achse: Abtastkopfposition (mm)
Y-Achse: Fehler (nm)