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VIONiC™ Messsysteme

Die Messsystembaureihe VIONiC ist Renishaws leistungsfähigstes, inkrementelles, optisches Messsystem. Es liefert direkte digitale Positionsrückmeldungen in Verbindung mit herausragender Messgenauigkeit, hohen Geschwindigkeiten und großer Zuverlässigkeit. Im VIONiC Abtastkopf ist die bewährte Filteroptik und Interpolationstechnologie von Renishaw integriert. Dies gewährleistet höchste zyklische Genauigkeit und eine hohe Schmutzunempfindlichkeit und bietet den Vorteil, dass keine zusätzlichen Adapter oder gesonderte Schnittstellen erforderlich sind.

Zudem sind VIONiC Abtastköpfe mit verschiedensten linearen, rotativen und Teilkreis-Maßverkörperungen kompatibel, von ZeroMet™ Maßbändern mit geringer Ausdehnung bis hin zu hochgenauen REXM Ringen. Dies macht die VIONiC Baureihe zum Messsystem der Wahl für Anwendungen, die Flexibilität und hervorragende Messleistung erfordern.

Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE)

Piktogramm Zyklischer Fehler (SDE)

In der VIONiC Messsystembaureihe ist die bewährte Filteroptik und Signalverarbeitung für überragende Messleistung integriert. Die hochentwickelte Interpolationstechnologie bietet eine hohe zyklische Genauigkeit von typischerweise < ±15 nm: die höchste der optischen Messsysteme von Renishaw.


Hohe Verfahrgeschwindigkeit kombiniert mit feiner Auflösung

Piktogramm Geschwindigkeit

Der VIONiC Abtastkopf verfügt über einen intelligent interpolierenden Chip, der eine hohe Auflösung von 2,5 nm erzielt und damit hohe Präzision und Wiederholgenauigkeit für jede Anwendung bietet. Das Messsystem ist mit einer maximalen Taktrate von 50 MHz erhältlich und arbeitet mit Geschwindigkeiten bis 12 m/s. Bei einer Auflösung von 0,1 μm sind Geschwindigkeiten von bis zu 3,63 m/s möglich, ideal für die Maximierung des Durchsatzes in den anspruchsvollsten Prozessen der Halbleiterfertigung.


Advanced Diagnostic Tool

Piktogramm Optionales ADT

VIONiC Messsysteme lassen sich dank des automatischen Kalibriermodus auch einfach installieren. Ein optionales Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 ist erhältlich, um in Echtzeit Informationen zum Messsystem während der Installation oder aber zur Diagnose bei der Anwendung abzurufen.

Finden Sie die passende VIONiC Maßverkörperung

Linear

Maßverkörperung

Produktname

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C

Max. Länge der Maßverkörperung

Edelstahlmaßband mit Schienenoption

RTLC20 FASTRACK Maßband

RTLC20 mit optionalem FASTRACK

±5 µm/m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

Bis 10 m (> 10 m auf Anfrage)

Schmales Edelstahlmaßband

RKLC20 Maßband

RKLC20-S

±5 µm/m20 µm

Wie Installationsuntergrund, wenn Maßbandenden mit Endklemmen fixiert sind

Bis 20 m (> 20 m auf Anfrage)

ZeroMet Maßstab

RELM RSLM Maßstab

RELM/RELE±1 µm für bis zu 1 m, dann ±1 µm/m20 µm0,75 ±0,35 µm/m/°CBis 1,5 m

Edelstahl-Maßstab

RELM RSLM Maßstab

RSLM20/RSLE20/RSLC20

±1,5 µm bis zu 1 m, ±2,25 µm bis zu 2 m, ±3 µm bis zu 3 m, ±4 µm bis zu 5 m20 µm10,1 ±0,2 µm/m/°CBis 5 m

Teilrotation

Maßverkörperung

Produktname

Genauigkeit

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C

Lieferlänge

Schmales Edelstahlmaßband für Teilkreismessungen

RKLC Teilkreis-Maßverkörperung

RKLC20-S


±5 µm/m

20 µm

Wie Installationsuntergrund, wenn Maßbandenden mit Endklemmen fixiert sind


Bis 20 m (> 20 m auf Anfrage)

Rotativ

Maßverkörperung

Produktname

Genauigkeit (je nach Ringdurchmesser)

Teilungsperiode

Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C

Ringdurchmesser

Edelstahl-Ring

RESM-REST Maßband (Maßverkörperungsseite)


RESM20/REST20



Teilungsgenauigkeit: ±3,97 bis ±0,38 Winkelsekunden

20 µm

15,5 ±0,5 µm/m/°C

52 bis 550 mm

Hochgenauer Edelstahl-Ring

REXM Maßband (Maßverkörperungsseite)
REXM20/REXT20

Installierte Genauigkeit:

(≥ 100 mm Durchmesser) ±1 Winkelsekunde
(75 mm Durchmesser) ±1,5 Winkelsekunden
(≤ 57 mm Durchmesser) ±2 Winkelsekunden

20 µm15,5 ±0,5 µm/m/°C52 bis 417 mm

Optionales Advanced Diagnostic Tool ADTi-100

Advanced Diagnostic Tool ADTi-100

Das VIONiC Messsystem ist mit dem Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 und der Software ADT View kompatibel. Sie bieten eine umfassende Echtzeit-Datenrückmeldung vom Messsystem zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen und für die Diagnose. Die intuitiv bedienbare Softwareoberfläche bietet Folgendes:

  • Fernkalibrierung
  • Signaloptimierung über die gesamte Achslänge
  • Angabe der Abtastkopfneigung
  • Endschalter- und Referenzmarkenanzeige
  • Digitalanzeige der Messsystemposition (in Bezug auf die Maßverkörperung)
  • Kontrolle des Geschwindigkeit-Zeit-Diagramms
  • Datenexport und -speicherung

Vorteile

Geschwindigkeit

Zählerfrequenz getakteter Ausgang (MHz)Maximale Geschwindigkeit (m/s)Mindestflankenabstand* (ns)
D (5 µm)X (1 µm)Z (0,5 µm)W (0,2 µm)Y (0,1 µm)H (50 nm)M (40 nm)P (25 nm)I (20 nm)O (10 nm)Q (5 nm)R (2,5 nm)
501212127,253,631,811,450,9060,7250,3630,1810,09125,3
401212125,802,901,451,160,7250,5800,2900,1450,07331,8
2512129,063,631,810,9060,7250,4530,3630,1810,0910,04551,2
2012128,063,221,610,8060,6450,4030,3220,1610,0810,04057,7
121210,365,182,071,040,5180,4140,2590,2070,1040,0520,02690,2
10128,534,271,710,8500,4270,3410,2130,1710,0850,0430,021110
08126,913,451,380,6900,3450,2760,1730,1380,0690,0350,017136
06125,372,691,070,5400,2690,2150,1340,1070,0540,0270,013175
04123,631,810,7300,3600,1810,1450,0910,0730,0360,0180,009259
014,530,9100,4500,1800,0900,0450,0360,0230,0180,0090,0050,0021038

*Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel

Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE)

Interpolierter Fehler – 10 Fehlerzyklen

VIONiC™ Zyklischer Fehler (SDE)


X-Achse: Abtastkopfposition (mm)

Y-Achse: Fehler (nm)