 | RGH20F UHV vakuumtaugliches Winkelmess-System
Kompatibel mit REF Interfaces
Für eine noch bessere Leistungsfähigkeit und langfristige Zuverlässigkeit werden die Baureihen RGB und RGF durch RoHS konforme REF Interfaces ersetzt. Dies ermöglicht eine dynamische Signalverarbeitung und Auflösungen bis 0,05 Winkelsekunden. Der RGH20F UHV Abtastkopf wird unter reinen Bedingungen gefertigt, mit Materialien und Klebstoffen, die speziell aufgrund ihrer geringen Ausgasungswerte gewählt wurden. Anschließend wird das Produkt zur Beibehaltung der Reinheit in einer vakuumgerechten Verpackung verschlossen. RESR Winkelmessringe von RenishawRESR-Ringe werden aus monolithischem, beschichtungsfreiem Edelstahl der 300er Serie hergestellt, das speziellen Reinigungs- und Entfettungsverfahren unterzogen werden kann. Die Ringe besitzen einen großen Durchlass und kleinen Querschnitt und bieten somit ein einfaches Design bei minimaler Masse und Trägheit. Außerdem verfügen die Ringe über die patentierte Konusmontage von Renishaw, die eine einfache und genaue Justierung ermöglicht, verbunden mit einer hohen Stabilität über eine breite Temperaturspanne. RESR-Ringe für UHV-Anwendungen sind in Größen zwischen 52 mm und 550 mm erhältlich; Sondergrößen und größere Durchmesser auf Anfrage. Testergebnisse der Restgasanalyse (RGA)Unabhängige Restgasanalysen (RGAs) haben erwiesen, dass sich das gesamte System zur Verwendung in reinen Vakuumbedingungen eignet. Ebenso eignet es sich für Ausbackzyklen von 120°C für Einsätze in UHV-Umgebungen. Typische Anwendungen sind z. B. Waferhandling, Waferinspektion und die wissenschaftliche Forschung. Ergebnisse des RGA-Spektrums für RGH20F Abtastköpfe
Zur Vergrößerung bitte auf das Diagramm klicken Ergebnisse des RGA-Spektrums für RESR-Ringe
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Der RGH20F UHV Abtastkopf für Winkelmess-Systeme ist mit RESR-Ringen kompatibel und bietet ein hochgenaues und direktes Positionsfeedback in UHV-Umgebungen. Der RGH20F UHV hat sich seit Jahren in der Praxis bewährt und wird weltweit in Halbleiter- und wissenschaftlichen Geräten, wo hohe Leistungen und Zuverlässigkeit unerlässlich sind, eingesetzt.
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