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RESOLUTE™ UHV Absolut-Messsystem mit RSLA30 Maßstab

Merkmale

  • Serielle Interfaces: BiSS® C, Panasonic
  • Abtastkopfgröße: 36 x 16,5 x 17,2 mm
  • Auflösungen bis 1 nm bei 100 m/s
  • Genauigkeit von ±4 µm über 5 m bei 20 °C
  • Thermischer Ausdehnungskoeffizient der Maßverkörperung bei 20 °C: 10,1 ±0,2 µm/m/°C

Vorteile

  • Hochgenauer Maßstab
  • Großzügige Einstelltoleranzen
  • Geringe Ausgasung für Vakuumumgebungen
  • Weniger als 10 nm RMS Jitter für eine verbesserte Positionsstabilität
  • ±40 nm zyklischer Fehler für gleichmäßige Geschwindigkeitsregelung
  • Optionales Advanced Diagnostic Tool
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Was ist RESOLUTE UHV?

RESOLUTE UHV bietet Absolutmesstechnik für Ultrahochvakuum-Anwendungen. Kunden können damit einen höheren Messdurchsatz erzielen, Beschädigungsrisiken senken und die Zuverlässigkeit verbessern.

RESOLUTE übertrifft alle anderen absoluten Messsysteme, die für UHV-Umgebungen entwickelt wurden. Mit einer Auflösung von 1 nm und Geschwindigkeiten bis zu 100 m/s bietet RESOLUTE eine Spezifikation, die in der Messsystem-Technologie eine bahnbrechende Neuerung darstellt.

Der Queen's Award for Enterprise: Innovation 2015

Gewinner eines Queen's Award for Enterprise 2015 in der Kategorie Innovation

Was ist ein RSLA30 Maßband?

RSLA30 ist ein Edelstahlmaßstab, der eine Absolutkodierung mit 30 µm Teilungsperiode besitzt.
Er ist mit Glasmaßstäben mit feiner Teilungsperiode vergleichbar und bietet eine Gesamtgenauigkeit (einschließlich Steigung und Linearität) von unter ±4 μm bei einer Länge von 5 m. Er kann zur einfachen Aufbewahrung und Handhabung auch aufgerollt werden, lässt sich jedoch nach dem Abrollen genau wie jeder Maßstab nutzen.
Konstrukteure können je nach Montageanforderungen zwischen speziellem Klebeband oder Montageklammern wählen. Beide Montagemethoden erlauben eine vom Untergrund unabhängige thermische Ausdehnung.

Was spricht für dieses Messsystem?

Einfache Fehlersuche und Wartung

Das Advanced Diagnostic Tool ADTa‑100 ist ein Diagnoseinstrument, das umfassende Echtzeitdaten von den Abtastköpfen der RESOLUTE™ Messsysteme erfasst. Die Informationen werden über die benutzerfreundliche Softwareoberfläche von ADT View angezeigt. Obwohl in den meisten Fällen die integrierte Einstell-LED am Messsystem für die Systemeinrichtung ausreicht, kann das ADT zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen eingesetzt werden. Das ADT kann auch Informationen zur Messsystemleistung liefern und unterstützend bei der Systemfehlersuche eingesetzt werden, um längere Maschinenausfallzeiten zu vermeiden.

UHV (Ultra-Hochvakuum)

RESOLUTE UHV bietet revolutionäre Absolut-Mess-Technologie von Renishaw mit einem Abtastkopf, der in UHV-Umgebungen bis zu 10 -9 Torr eingesetzt werden kann. Die neue Palette an RESOLUTE UHV Messsystemen ist aus Materialien mit sauberer Restgasanalyse (RGA) hergestellt, wodurch sie sich für Hochleistungs-, Halbleiter- und wissenschaftliche Anwendungen eignet.

Großzügige Einstelltoleranzen

RESOLUTE UHV verwendet nicht das herkömmliche Dual-Track-System (zwei nebeneinanderliegende Spuren, eine inkremental und eine absolut), das schon bei kleinen Winkelabweichungen zu Messfehlern führt. Dieses Absolut-Messsystem verwendet stattdessen ein optisches, single-track Absolut-Maßband und verbindet die Absolutposition und die eingebettete Phaseninformation in einem Code. Diese Technologie ermöglicht RESOLUTE UHV weitaus großzügigere Einstelltoleranzen (Gierwinkeltoleranz von ±0,5°) für eine schnelle und einfache Installation sowie eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit auf Dauer – selbst dann, wenn sich die Bewegungsachsen im Laufe der Zeit absetzen oder bewegen. Eine zusätzliche Unterstützung bei der Installation und Diagnose bietet die am Abtastkopf integrierte Einstell-LED.

Optionales Advanced Diagnostic Tool ADTa-100

Advanced Diagnostic Tool ADTa-100

Das RESOLUTE Messsystem ist mit dem Advanced Diagnostic Tool ADTa-100 und der Software ADT View kompatibel. Sie bieten eine umfassende Echtzeit-Datenrückmeldung vom Messsystem zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen und für die Diagnose. Die intuitiv bedienbare Softwareoberfläche bietet Folgendes:

  • Fernkalibrierung
  • Signaloptimierung über die gesamte Achslänge
  • Digitalanzeige der Messsystemposition (in Bezug auf die Maßverkörperung)
  • Datenexport und -speicherung
  • Null setzen

Serielle Interfaces

Serielle InterfacesBeschreibungDatenblattKompatible Produkte
BiSS C

Renishaw unterstützt das unidirektionale BiSS C Protokoll für Absolut-Messsysteme. BiSS C ist ein serielles Hochgeschwindigkeits-Interface, das sich bestens für dynamische Achsen eignet, die hohe Beschleunigungen, gleichmäßige Geschwindigkeitsregelung, eine hervorragende Wiederholgenauigkeit sowie bestmögliche Positionsstabilität erfordern.
RESOLUTE mit BiSS C ist als Weg- und als Winkelmesssystem erhältlich und mit einer großen Auswahl an Standardsteuerungen, Antrieben, Digitalanzeigen und PC-Zählerkarten kompatibel.

RESOLUTE BiSS C

Seite BiSS C kompatible Produkte

Panasonic

RESOLUTE mit seriellem Interface von Panasonic ist in verschiedenen Ausführungen als Weg- und Winkelmesssystem erhältlich. Das mit den Antrieben der A5 und A6 Baureihen kompatible Messsystem bietet wiederholgenaues Feedback mit hoher Auflösung zur besseren Servo- und Geschwindigkeitssteuerung.

RESOLUTE Panasonic

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Technische Daten


Maßverkörperung

Absolut codierter, hochgenauer Edelstahlmaßstab

Abtastkopfgröße (LxBxH)

36 mm x 16,5 mm x 14,8 mm

Teilungsperiode

Nominal 30 µm

Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C

10,1 ±0,2 μm/m/°C

Gesamtgenauigkeit bei 20 °C

±1,5 μm bis 1 m, ±2,25 μm bis 2 m, ±3 μm bis 3 m, ±4 μm bis 5 m, (einschließlich Steigung und Linearität), Kalibrierung rückführbar auf internationale Normen

Maßbandlänge

Einige BiSS C Protokollvarianten haben eine begrenzte max. Länge

(Siehe Datenblatt für nähere Informationen)

80 mm bis 5 m

Maximale Geschwindigkeit

(Siehe Datenblatt für nähere Informationen)

Bis zu 100 m/s

Serielle Interfaces*

BiSS C, Panasonic

Auflösungen

BiSS C: 50 nm, 5 nm und 1 nm Auflösungen

Panasonic: 100 nm, 50 nm und 1 nm Auflösungen

Zyklischer Fehler (SDE)

±40 nm

Elektrische Verbindung

Bis 10 m Kabel ohne Stecker

Spannungsversorgung

5 V ±10%, max. 250 mA bei 5 V (mit Abschlusswiderstand)

Vibration (im Betrieb)

100 m/s2 max. bei 55 Hz bis 2.000 Hz

Schock (nicht in Betrieb)

1.000 m/s2, 6 ms, ½ Sinus

Betriebstemperatur

0 ℃ bis +75 °C

Ausbacktemperatur (nicht im Betrieb)

120 °C

Schutzklasse

IP30

Kabelaufbau

Einzelne Abschirmung mit versilbertem Kupfergeflecht. FEP-Aderisolation über verzinntem Kupferdraht.

Vollständige technische Details finden Sie in den Datenblättern.

* Weitere serielle Interfaces werden ständig hinzugefügt.